Changes in the morphology and structure of the GaAs surface during the deposition of an Au film by thermal evaporation in vacuum have been studied. It has been found that the deposition of an Au film with the participation of a flow of particles and light from a heated evaporator causes the appearance of photoeffects in the near-surface GaAs layers, including light diffraction on surface acoustic waves, the growth of whiskers, and electron emission, which leads to the formation of microcracks on the GaAs surface and the growth of GaAs crystallites. It is shown that the structure and composition of the film boundaries of Au and GaAs surfaces depend on the electron concentration in gallium arsenide, which ultimately determines the properties of the electrophysical parameters of the Au–GaAs contacts.
Проведены исследования изменения морфологии и структуры поверхности GaAs при осаждении пленки Au путем термического испарения в вакууме. Обнаружено, что осаждение пленки Au с участием потока частиц и света от разогретого испарителя вызывает возникновение фотоэффектов в приповерхностных слоях GaAs, включая дифракцию света на поверхностных акустических волнах, рост вискеров и эмиссию электронов, что приводит к образованию микротрещин на поверхности GaAs и росту кристаллитов GaAs. Показано, что структура и состав границ пленки Au и поверхности GaAs зависят от концентрации электронов в арсениде галлия, что в конечном итоге определяет свойства электрофизических параметров контактов Au – GaAs.