To increase the efficiency of devices based on piezoelectric transducers made of zinc oxide, it is proposed to use single-crystal layers of platinum as the bottom electrode. Epitaxial single-crystal films of zinc oxide on metal have been obtained. It is shown that this combination of layers makes it possible to minimizethe mismatch in the lattice parameters of the film and substrate, which significantly improves the quality of the obtained piezoelectric film.
Для увеличения эффективности работы устройств на основе пьезоэлектрических преобразователей из оксида цинка предложено использовать монокристаллические слои платины в качестве нижнего электрода. Получены эпитаксиальные монокристаллические пленки оксида цинка на металле. Показано, что данное сочетание слоев позволяет минимизировать рассогласование по параметрам решетки пленки и подложки, что существенно повышает качество полученной пьезоэлектрической пленки.