Journal of Communications Technology and ElectronicsJournal of Communications Technology and ElectronicsРадиотехника и электроника0033-84943034-5901The Russian Academy of Sciences65074910.31857/S0033849423070070WPCXHXНАНОЭЛЕКТРОНИКАПолучение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной средеПолучение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной средеЛисенковВ.ЛисенковВ. Ю.kaziev@plasma.mephi.ruХарьковМ.ХарьковМ. М.kaziev@plasma.mephi.ruКолодкоД.КолодкоД. В.kaziev@plasma.mephi.ruТумаркинА.ТумаркинА. В.kaziev@plasma.mephi.ruКазиевА.КазиевА. В.kaziev@plasma.mephi.ruНациональный исследовательский ядерный университет “МИФИ”Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАНФизический институт им. П.Н. Лебедева РАН0111202368111117112131012025Copyright ©; 2023, В.Ю. Лисенков, М.М. Харьков, Д.В. Колодко, А.В. Тумаркин, А.В. КазиевCopyright ©; 2023, В.Ю. Лисенков, М.М. Харьков, Д.В. Колодко, А.В. Тумаркин, А.В. Казиев2023В.Ю. Лисенков, М.М. Харьков, Д.В. Колодко, А.В. Тумаркин, А.В. КазиевВ.Ю. Лисенков, М.М. Харьков, Д.В. Колодко, А.В. Тумаркин, А.В. Казиевhttps://innoscience.ru/0033-8494/article/view/650749

Исследованы режимы существования импульсного магнетронного разряда с горячей теплоизолированной кремниевой мишенью при работе в газовой смеси, содержащей кислород (Ar + O2). Рассмотрен диапазон средней плотности мощности на мишени 60…120 Вт/см2 при длительности импульсов 100…300 мкс и частоте повторения 0.5…2 кГц. Построены карты стабильных режимов работы распылительной системы. Получены и продиагностированы покрытия SixOy на подложках из монокристаллического кремния при различных значениях доли кислорода в газовом потоке и различных параметрах импульсного питания магнетрона.

Исследованы режимы существования импульсного магнетронного разряда с горячей теплоизолированной кремниевой мишенью при работе в газовой смеси, содержащей кислород (Ar + O2). Рассмотрен диапазон средней плотности мощности на мишени 60…120 Вт/см2 при длительности импульсов 100…300 мкс и частоте повторения 0.5…2 кГц. Построены карты стабильных режимов работы распылительной системы. Получены и продиагностированы покрытия SixOy на подложках из монокристаллического кремния при различных значениях доли кислорода в газовом потоке и различных параметрах импульсного питания магнетрона.

Strijckmans K., Schelfhout R., Depla D. // J. Appl. Phys. 2018. V. 124. № 24. P. 241101.Shapovalov V.I. // Materials (Basel). 2023. V. 16. № 8. P. 3258.Graillot-Vuillecot R., Thomann A.-L., Lecas T. et al. // Vacuum. 2022. V. 197. P. 110813.Chodun R., Dypa M., Wicher B. et al. // Appl. Surf. Sci. 2022. V. 574. P. 151597.Reed M.L., Fedder G.K. Handbook of Sensors and Actuators. N.Y.: Springer, 1998.Pierce A.L., Sommakia S., Rickus J.L., Otto K.J. // J. Neurosci. Methods. 2009. V. 180. № 1. P. 106.Cui L., Ranade A.N., Matos M.A. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2012. V. 4. № 12. P. 6587.Prevo B.G., Hwang Y., Velev O.D. // Chem. Mater. 2005. V. 17. № 14. P. 3642.Long L., Yang Y., Wang L. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2019. V. 197. P. 19.Steenbeck K. // Thin Solid Films. 1985. V. 123. № 3. P. 239.Chau R.Y., Ho W-S, Wolfe J.C., Licon D.L. et al. // Thin Solid Films. 1996. V. 287. № 1–2. P. 57.Tumarkin A.V., Kaziev A.V., Kharkov M.M. et al. // Surf. Coatings Technol. 2016. V. 293. P. 42.Kaziev A.V., Kolodko D.V., Tumarkin A.V. et al. // Surf. Coatings Technol. 2021. V. 409. P. 126889.Kaziev A.V., Kolodko D.V., Sergeev N.S. // Plasma Sources Sci. Technol. 2021. V. 30. № 5. P. 055002.