Journal of Communications Technology and ElectronicsJournal of Communications Technology and ElectronicsРадиотехника и электроника0033-84943034-5901The Russian Academy of Sciences68475210.31857/S0033849424100099HPSZRUНАНОЭЛЕКТРОНИКАResearch ArticleOn iron-doped diamond-like films produced in a hollow cathode dischargeО допированных железом алмазоподобных пленках, полученных в разряде с полым катодомSorokinI. A.СорокинИ. А.
Russian Federation
iasorokin@mail.ruKolodkoD. V.КолодкоД. В.
Russian Federation
iasorokin@mail.ruFryazino Branch Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics of RASФрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАНNational Research Nuclear University MEPhIНациональный исследовательский ядерный университет «МИФИ»14102024691099699916062025Copyright ©; 2024, Russian Academy of SciencesCopyright ©; 2024, Российская академия наук2024Russian Academy of SciencesРоссийская академия наукhttps://innoscience.ru/0033-8494/article/view/684752

The paper presents the results of measuring the current-voltage characteristics of iron-doped diamond-like films obtained by a combined method of physical sputtering of an iron cathode and plasma-chemical deposition in a hollow-cathode discharge. The nonlinear nature of the transverse conductivity of the film and a significant influence of the amplitude value of the sweep voltage on the amplitude value of the current and the shape of the current-voltage characteristic were shown.

Представлены результаты измерения вольт-амперных характеристик допированных железом алмазоподобных пленок, полученных комбинированным методом физического распыления железного катода и плазмохимического осаждения в разряде с полым катодом. Показан нелинейный характер поперечной проводимости пленки, а также отмечено значительное влияние амплитудного значения напряжения развертки на амплитудное значение тока и форму вольт-амперной характеристики.

diamond-like carbonplasma-chemical depositionhollow-cathode dischargethin filmnonlinear current-voltage characteristicelectrical conductivityалмазоподобный углеродплазмохимическое осаждениеразряд с полым катодомтонкая пленканелинейная вольт-амперная характеристикаэлектропроводностьРоссийский научный фондRussian Science Foundation23-29-00276Сорокин И.А., Колодко Д.В., Краснобаев К.И. // РЭ. 2020. Т.65. №3. С.288.Sorokin I.A., Kolodko D.V. // Vacuum. 2023. V. 207. Article No. 111570.Vedeneev A. S., Luzanov V. A., Rylkov V. V. // Semiconductors. 2019. V. 53. № 14. P. 1970.Николаев С.Н., Веденеев А.С., Лузанов В.А. и др. // РЭ. 2021. Т. 66. № 10. С. 1024.