Journal of Communications Technology and ElectronicsJournal of Communications Technology and ElectronicsРадиотехника и электроника0033-84943034-5901The Russian Academy of Sciences69201310.7868/S3034590125070089НАНОЭЛЕКТРОНИКАResearch ArticleThin Film Formation During the Au Thermal Vacuum Evaporation at the (100) GaAs Substrate SurfaceПроцессы формирования пленок Au на подложке (100) GaAs при термическом испарении в вакуумеBryantsevaT. A.БрянцеваТ. А.LyubchenkoV. E.ЛюбченкоВ. Е.lyubch@fireras.suMarkovI. A.МарковИ. А.TenYu. A.ТенЮ. А.Fryazino Branch of the Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics of RASФрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН15072025707VOL 70, NO7 (2025)ТОМ 70, №7 (2025)68969404102025Copyright ©; 2025, Russian Academy of SciencesCopyright ©; 2025, Российская академия наук2025Russian Academy of SciencesРоссийская академия наукhttps://innoscience.ru/0033-8494/article/view/692013

The processes of formation of thin gold films on the surface substrate of gallium arsenide during evaporation in vacuum are investigated. The formation of gallium arsenide islands with a hexagonal lattice structure is detected. The influence of the conditions of manufacturing Au-GaAs contacts on the possibility of their use in microwave devices is discussed.

Исследованы процессы формирования тонких пленок золота на поверхности подложки из арсенида галлия при испарении в вакууме. Обнаружено образование островков арсенида галлия с гексагональной структурой решетки. Обсуждается влияние условий изготовления контактов Au-GaAs на возможность их использования в приборах СВЧ.

goldgallium arsenidevacuum depositioninterfacehexagonal structureзолотоарсенид галлиявакуумное осаждениеграница разделагексагональная структураРабота выполнена в рамках государственного задания № 075-00395-25-00 ИРЭ РАН им. В. А. Ко­тельникова по теме FFWZ‑2025-0002.Tung R.T. // Appl. Phys. Rev. 2014. V. 1. № 1. Article No. 011304.Брянцева Т.А., Любченко В.Е., Юневич Е.О. // РЭ. 1995. Т. 40. № 8. С. 1306.Брянцева Т.А., Бобылев М.А., Лебедева З.М., Любченко Д.В. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78. № 4. С. 41.Брянцева Т.А., Любченко В.Е., Любченко Д.В. и др. // РЭ. 2023. Т 68. № 5. С. 461.Брянцева Т.А., Гуляев Ю.В., Любченко В.Е. и др. // РЭ. 2021. Т. 66. № 11. С. 1125.Mокроусов М., Зарубина О.Н. // Изв. Томского политехнического ун-та 2008. Т. 313. № 3. с. 25.Брянцева Т.А., Любченко В.Е., Любченко Д.В. др. // РЭ. 2009. Т. 54. № 5. С. 561.Любченко В.Е., Брянцева Т.А., Марков И.А. и др. // РЭ. 2016. Т. 61. № 8. С. 901.