Автор туралы ақпарат
Глаз, О. Г.
Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
Том 53, № 1 (2024) | ТЕХНОЛОГИИ | Interconnects Materials for Integrated Circuit Technology Below 5 Nm Node | |
Том 54, № 2 (2025) | NANOSTRUCTURES | Electrical characteristics of ruthenium lines with a cross-sectional area less than 1000 nm2 |